Vol. 50, No. 5（特集解説: アーク放電・熱プラズマの基礎と発展）

特集解説

タンデム型変調誘導熱プラズマを用いたナノ粒子大量合成技術
High-Rate Production of Nanomaterials Using Tandem-Modulated Inductively Coupled Thermal Plasmas

田中康規
Yasunori TANAKA

静電気学会誌　第50巻　第5号　pp. 175 - 180
2026年7月7日受付
DOI   https://doi.org/10.34342/iesj.2026.50.5.175

Keywords
誘導結合熱プラズマ, タンデム型変調誘導熱プラズマ, ナノ粒子大量合成, 時間制御型原料導入, 粒径制御