Vol. 50, No. 4（特集解説: 6G時代に向けた環境に優しい静電気対策材料）

論文

透明導電材料を用いた高電位静電気力顕微鏡用静電シールドの外乱電界抑制性能向上及び小型化
Enhanced Electrostatic Shielding and Miniaturized Shield Design for High Voltage Electrostatic Force Microscopy Using Transparent Conductive Materials

有泉　龍馬, 齋藤　拓海, 中川　活二, 上原　利夫, 岸本　幸樹, 塩田　裕基, 武藤　浩隆, 芦澤　好人
Ryuma ARIIZUMI, Takumi SAITO, Katsuji NAKAGAWA, Toshio UEHARA, Koki KISHIMOTO, Hiroki SHIOTA, Hirotaka MUTO and Yoshito ASHIZAWA

静電気学会誌　第50巻　第4号　pp. 138 - 145
2026年1月16日受付
2026年4月30日受理
DOI   https://doi.org/10.34342/iesj.2026.50.4.138

Keywords
高電位静電気力顕微鏡, 表面電位計測, 静電シールド, 静電界解析, 透明導電材料