小田哲治(東京大学)開会挨拶
吉田孝博(東京理科大学工学部)金属電極間のESDにおける放電電流波形と放射電磁ノイズ
高橋 忠(トレック・ジャパン)静電気障害の判定と対応策の構築
日吉 功(シシド静電気)小型低周波交流高圧電源とこれを用いたイオナイザの特性
鈴木輝夫(春日電機)静電気障害の原因となる現象と静電気測定の基礎
福田保裕(沖エンジニアリング)半導体デバイスの静電気障害
村上俊郎(原田産業)半導体製造工程における静電気対策について SEMI Standard E-78とE-129の紹介と動向について
岡野一雄(職業大)閉会挨拶
| 参加費
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静電気学会会員:5,000円,非会員:10,000円 (当日受付にてお支払い下さい。) |
| 申込・問合先 | 〒113-0033 東京都文京区本郷4-1-3 シャルム’80 静電気学会事務局 電話:03-3815-4171 Fax: 03-5841-6786 E-mail:iesjアットマークiesj.org (アットマークを半角1文字のアットマークに変えてください) |