2006年度静電気災害防止シンポジウム
ナノデバイス製造における静電気障害と測定技術---------------------------
2006年度静電気障害防止技術シンポジウムでは、電子デバイスの静電気障害の現状と展望、およびこの分野の静電気対策を実施するための測定技術の現状、限界、展望等を中心に討論を行います。
日時 2006年11月17日(金) 9:25~16:55
場所 東京理科大学神楽坂キャンパス 理窓会館 3階会議室
新宿区神楽坂2-13-1 電話 03-3260-0725
講演プログラム・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
9:25-9:30
開会挨拶 東京大学 小田哲治
9:30-10:30
ULSIの静電気障害と障害予知のための測定技術 職業能力開発総合大学校 岡野一雄
10:30-11:30
磁気ヘッドの静電気破壊と計測技術 ソニー株式会社 早田裕
(11:30-12:30 昼食休憩) 半導体製造ビデオ上映
12:30-13:30 特別講演
Static Hazards in Industry - Case Histories University of Southampton John F Hughes
13:30-14:40
実験デモ・低電圧ESD時の電磁波放射とその測定 株式会社インパルス物理研究所 本田昌實
(14:40-14:50 休 憩)
14:50-15:50
微細化半導体デバイスの静電気計測 トレック・ジャパン株式会社 高橋忠
15:50-16:50
静電気測定技術の現状 春日電機株式会社 鈴木輝夫
16:50-16:55
閉会挨拶 東京理科大学 増井典明
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参加申込方法:事前申込み又は当日受付(定員100名 先着順)
| 参加費
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静電気学会会員・賛助会員:5,000円,非会員:8,000円
(ただし、RCJ会員・IDEMA会員:6,000円 |
2006年度静電気障害防止技術シンポジウム企画委員----------
大澤敦(安衛研)、岡野一雄(能開総合大)、佐藤正之(群馬大)、松原美之(消防研)、水野彰(豊橋技科大)
2006年度静電気障害防止技術シンポジウム実行委員----------
岡野一雄(能開総合大)、児玉勉(シシド静電気)、高橋 忠(トレック・ジャパン)、藤江 明雄(カイジョー)、増井典明(東京理科大)、吉田孝博(東京理科大)